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产物系列
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产物介绍
产物介绍
PF-300M为利来老牌国际官网app自主研发的串联高产能平台。PF-300M 系列产物可搭载 5 个反映腔，满足客户对差异工艺和膜厚的高效需求。该平台兼容PECVD高端产物pX、Supra-D，以及PEALD Astra反映腔。PF-300M Supra-D 系列产物是面向先进制程的新一代高端产物，接纳全新的独立腔室设计，以优异的薄膜稳定性、均匀性、颗粒度体现实现更严格的工艺指标要求。
产物特点
- 串联的高产能平台
- 可搭配多个反映腔，实现产能的优化配置
- 颗粒度体现优异
- 通过S2宁静认证和F47尺度检验
